특허보유현황
MEMS 마이크로폰 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150044053
출원일
2015-03-30
등록번호
1016151060000
등록일
2016-04-19
IPC 분류
H04R 19/01|H04R 19/00|H04R 31/00
대표도면
요약
본 발명은 MEMS 마이크로폰 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 두께 방향 중앙에 진동막이 배치되도록 기판의 일측과 타측을 습식식각법을 이용하여 가공하여 공정 시 진동막과 후판의 손상을 최소화하고, 제조비용을 절감한 MEMS 마이크로폰 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
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