특허보유현황
아크 플라즈마 반응기를 구비한 저압 공정 설비
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150044357
출원일
2015-03-30
공개번호
1020160116522
공개일
2016-10-10
등록번호
1017039930000
등록일
2017-02-01
IPC 분류
H10P 10/00|H10P 72/00
대표도면
요약
저압 공정 설비는 식각, 증착, 및 세정 중 적어도 하나의 작업이 이루어지는 공정 챔버와, 진공 배관을 통해 공정 챔버와 연결되어 공정 챔버에서 사용된 공정 가스를 배출시키는 진공 펌프와, 진공 배관에 설치되며 진공 배관의 모니터링을 위한 센서와 압력 조절을 위한 밸브를 포함하는 진공 부품들과, 진공 배관 중 공정 챔버와 진공 부품들 사이에 설치되고, 진공 배관의 내부로 플라즈마 제트를 분사하여 공정 챔버에서 배출되는 입자 부산물을 세정하는 아크 플라즈마 반응기를 포함한다.
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