특허보유현황
광전류 영상 및 광루미네선스 영상의 동시 측정 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150044358
출원일
2015-03-30
등록번호
1016421320000
등록일
2016-07-18
IPC 분류
G01R 19/00|H10F 10/00
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 광전류 영상 및 광루미네선스 영상의 동시 측정 장치는 광원을 발생시키는 광 발생기, 상기 광 발생기에서 발생한 광원이 입사하는 반도체 소자를 지지하며 상기 반도체 소자를 이동시키는 스캔 스테이지, 상기 반도체 소자에서 발생하는 광전류를 측정하는 광전류 측정기, 상기 반도체 소자에서 발생한 광루미네선스를 측정하는 광루미네선스 측정기, 상기 광전류 측정기와 상기 광루미네선스 측정기를 제어하는 제어 단말기를 포함할 수 있다.
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