특허보유현황
반도체 소자 및 반도체 소자 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150066884
출원일
2015-05-13
등록번호
1016416540000
등록일
2016-07-15
IPC 분류
H10H 20/832|H10H 20/00
대표도면
요약
본 발명은 반도체 소자 및 그 제조방법을 제공한다. 본 발명의 일 측면에 따른 반도체 소자는 반도체성 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 화합물이 증착되어 형성되는 액티브층, 상기 액티브층에 전류를 인입 또는 인출시키도록 상기 액티브층의 일면에 금속성 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 화합물이 증착되어 형성되는 전극층 및 상기 액티브층 및 상기 전극층의 계면에 상기 반도체성 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 화합물 및 상기 금속성 2차원 전이금속 디칼코지나이드계 화합물의 합금 형성되어 오믹 접합이 이루어지는 컨택층을 포함할 수 있다.
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