특허보유현황
용액 공정 장치 및 이를 이용한 다층 구조 소자의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150072178
출원일
2015-05-22
공개번호
1020160137264
공개일
2016-11-30
등록번호
1018196540000
등록일
2018-01-11
IPC 분류
H10P 72/00|H10P 10/00|H10P 34/42
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 용액 공정 장치는 기판에 잉크를 프린팅하는 잉크젯 프린팅부, 상기 잉크에 레이저를 조사하여 상기 잉크를 가공하는 레이저 가공부, 상기 기판, 잉크젯 프린팅부 및 레이저 가공부에 연결되어 있으며, 상기 기판, 잉크젯 프린팅부 및 레이저 가공부의 위치를 조절하는 이동 스테이지를 포함할 수 있다.
전문보기
기술이전 상담신청