특허보유현황
화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150084873
출원일
2015-06-16
공개번호
1020160148746
공개일
2016-12-27
등록번호
1017059820000
등록일
2017-02-06
IPC 분류
C23C 16/44|C23C 16/56|B03C 3/02|C23C 16/511|C23C 16/448|C23C 16/455|C23C 16/24
대표도면
요약
본 발명은 배기가스 처리장치에 관한 것으로서, 화학적 기상 증착 공정시 발생하여 하전되는 오염물질의 제거장치에 있어서, 화학적 기상 증착 공정이 수행되며 일영역에 제1관통공이 형성되는 챔버; 및 상기 제1관통공을 통하여 상기 챔버 내부로 삽입되며, 전압을 인가시 상기 오염물질이 집진되는 집진봉;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이를 통해, 전기적 집진을 통하여 화학적 기상 증착공정 중 하전되는 오염물질을 제거할 수 있는 화학적 기상 증착 공정의 오염물질 제거 장치를 제공함에 있다.
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