특허보유현황
메타표면 흡수체를 포함한 볼로미터형 적외선 센서
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150089708
출원일
2015-06-24
등록번호
1016616770000
등록일
2016-09-26
IPC 분류
G01J 5/22
대표도면
요약
본 기재의 메타표면 흡수체를 포함한 볼로미터형 적외선 센서는 기판, 상기 기판 상에 형성된 적외선 반사층, 상기 적외선 반사층으로부터 이격되게 위치된 저항층 및 상기 저항층 상에 형성되며, 복수의 개구 패턴이 형성된 메타표면(meta surface)을 포함하는 적외선 흡수체를 포함한다.
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