특허보유현황
압전 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150096881
출원일
2015-07-08
공개번호
1020170006364
공개일
2017-01-18
등록번호
1018449700000
등록일
2018-03-28
IPC 분류
G01B 21/32|G01Q 60/24|G01B 11/16|G01B 9/02
대표도면
요약
본 발명은 압전 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법에 관한 것으로서, 자유지지된 압전 나노박막에 진공 및 전압을 인가해 압전 나노박막이 변형되도록 하고 그 변형되는 정도를 측정하여 압전 나노박막의 기계적 물성 및 압전 물성을 측정할 수 있는 압전 나노박막의 물성 시험 장치 및 방법에 관한 것이다.
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