특허보유현황
나노 박막의 두께 방향 열전도도 측정 방법
출원인
재단법인 파동에너지 극한제어 연구단|한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150106117
출원일
2015-07-27
등록번호
1016829980000
등록일
2016-11-30
IPC 분류
G01N 25/18|G01K 17/00|G01K 13/00|G01Q 60/58|B82Y 35/00
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예는 기판상에 나노 박막을 배치하는 단계; 상기 나노 박막을 주사탐침열현미경(scanning thermal microscope, SThM)의 탐침(thermoelectric probe)으로 가열하는 단계; 상기 탐침에 높이 방향의 변위가 발생하면, 상기 탐침으로부터 상기 나노 박막으로 전달된 열량과, 상기 탐침과 접촉하고 있던 상기 나노 박막의 일 면 상의 온도를 산출하는 단계; 및 상기 탐침으로부터 상기 나노 박막으로 전달된 열량 및 상기 탐침과 접촉하고 있던 상기 나노 박막의 일 면 상의 온도를 이용하여, 상기 나노 박막의 두께 방향 열전도도를 측정하는 단계;를 포함하는, 나노 박막의 두께 방향 열전도도 측정 방법을 개시한다.
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