특허보유현황
나노 필라 제조방법
출원인
한국기계연구원|재단법인 하이브리드 인터페이스기반 미래소재 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020150120092
출원일
2015-08-26
공개번호
1020170024728
공개일
2017-03-08
등록번호
1017805490000
등록일
2017-09-14
IPC 분류
H10D 62/10|H10P 10/00|H10D 62/832
대표도면
요약
본 발명의 목적은 Ni 2 Si를 길이가 긴 나노 필라 상태로 얻을 수 있는 새로운 제조방법을 제공하되, 경제적이고 실시가 용이한 제조방법을 제공하고자 하는 것이다. 그에 따라 본 발명은, Cu, Ni 및 Si을 합금으로 만들고, 상기 합금을 900 내지 1000℃에서 30분 내지 2시간 동안 열 처리하고 냉각하여 용체화 처리하고, 400 내지 600℃에서 시효(aging) 처리하고, 인발 또는 압연처리하고, 에칭 용액으로 Cu를 제거하여 Ni 2 Si 나노 필라를 회수하는 것을 특징으로 하는 Ni 2 Si 나노 필라 제조방법을 제공한다.
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