특허보유현황
반응결합 질화규소 제조장치 및 제조방법
출원인
한국재료연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150124330
출원일
2015-09-02
공개번호
1020170027550
공개일
2017-03-10
등록번호
1025358460000
등록일
2023-05-18
IPC 분류
C01B 21/068|B01J 6/00
대표도면
요약
본 발명은 반응결합 질화규소의 제조 장치에 관한 것이다. 본 발명은 피가열체의 수용 공간을 형성하며, 상기 피가열체를 가열하기 위한 발열체를 내부에 구비하는 제1 챔버; 및 상기 제1 챔버와 접하는 제2 챔버를 포함하고, 상기 제2 챔버는 상기 제1 챔버보다 낮은 온도로 유지하기 위한 온도 유지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 반응결합 질화규소 제조용 장치를 제공한다. 본 발명에 따르면, Si 용융현상 없이 반응결합 질화규소를 제조할 수 있게 된다.
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