특허보유현황
롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150127458
출원일
2015-09-09
공개번호
1020170030208
공개일
2017-03-17
등록번호
1017214970000
등록일
2017-03-24
IPC 분류
G03F 7/20|G03F 7/00|H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 표면에 레지스트가 코팅된 도우너와 표면에 패턴이 기 형성된 소형의 마스터롤을 접촉시켜 도우너의 레지스트 일부가 마스터롤로 옮겨진 다음, 마스터롤과 대형의 베어롤이 접촉 및 회전하는 과정을 통해 마스터롤의 레지스트가 베어롤로 다시 옮겨져 베어롤 전체에 패턴이 형성됨으로써, 대형 롤 표면에 직접 레지스트를 코팅하지 않고도 대형 롤스탬프를 제조할 수 있는 장치 및 방법에 관한 것이다.
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