특허보유현황
선격자 편광자의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150131007
출원일
2015-09-16
공개번호
1020170033106
공개일
2017-03-24
등록번호
1017296830000
등록일
2017-04-18
IPC 분류
G02B 5/30
대표도면
요약
선격자 편광자의 제조 방법은, 일면에 나노 구조체를 가지는 스탬프를 준비하고 상기 일면에 이방성 진공 증착으로 마스크층을 형성하는 단계와, 기판 위에 금속막을 형성하는 단계와, 마스크층 가운데 나노 구조체 상부의 마스크층을 금속막 위로 전사하는 단계와, 금속막 가운데 마스크층으로 덮이지 않은 부위를 건식 식각으로 제거하여 금속막을 금속선들로 패터닝하는 단계를 포함한다.
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