특허보유현황
미세패턴을 갖는 제판 제작방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150131443
출원일
2015-09-17
공개번호
1020170033565
공개일
2017-03-27
등록번호
1017503610000
등록일
2017-06-19
IPC 분류
H10P 14/46|H10P 50/26
대표도면
요약
제판 제작방법에서 제판 상에 제1 금속층을 형성한다. 상기 제1 금속층 상에 나노입자 잉크로 제1 패턴을 인쇄한다. 상기 제1 패턴을 건조시킨다. 상기 제1 금속층 상에 상기 제2 금속층을 도금한다. 상기 제1 패턴을 제거하여 상기 제2 금속층을 개구하는 제2 개구부를 형성한다. 상기 제1 금속층을 선택적으로 식각하여 상기 제1 금속층을 개구하는 제1 개구부를 형성한다. 상기 제판의 상부에 제3 금속층을 도금하여, 상기 제판 상에 미세 패턴을 형성한다.
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