특허보유현황
고하중용 탄성힌지기반 수직평면 미세구동 스테이지
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150153748
출원일
2015-11-03
등록번호
1017051540000
등록일
2017-02-03
IPC 분류
B23Q 5/28|B23Q 1/38|B23Q 1/34|B23Q 16/00
대표도면
요약
본 발명의 목적은 수직평면 형태로 배치된 스테이지 플랫폼을 병진-병진-회전(PPR) 구조의 탄성힌지기구 및 구동기를 사용하여 이동시키되, 플랫폼 상에 보상용 역균형하중(counter balance)을 구비함으로써 탄성힌지에 작용하는 하중을 저감할 수 있도록 하는, 고하중용 탄성힌지기반 수직평면 미세구동 스테이지를 제공함에 있다.
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