특허보유현황
3차원 레이저 조사 장치 및 3차원 레이저 조사 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150155727
출원일
2015-11-06
공개번호
1020170053345
공개일
2017-05-16
등록번호
1017695500000
등록일
2017-08-11
IPC 분류
B23K 26/08|B23K 26/06|B23K 26/04|B23K 26/70
대표도면
요약
본 발명은 공정 속도를 향상시키고, 및 오차를 감소시킬 수 있는 3차원 레이저 조사 장치를 제공한다. 본 발명의 일 측면에 따른 3차원 레이저 조사 장치는 제1 지령 주기로 이동이 제어되는 스테이지, 상기 제1 지령 주기보다 더 짧은 제2 지령 주기로 제어되어 레이저 빔을 이동시키는 스캐너, 상기 제1 지령 주기로 상기 스테이지의 이동을 제어하는 제1 제어부, 상기 스테이지의 이동 오차를 측정하는 오차 측정부, 상기 제2 지령 주기로 상기 스캐너를 제어하는 제2 제어부, 및 상기 스테이지의 이동 오차를 보상하도록 상기 스캐너의 레이저 조사 경로를 수정하는 보상 제어부를 포함한다.
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