특허보유현황
초소수성 폴리이미드 필름의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150164525
출원일
2015-11-24
등록번호
1016415850000
등록일
2016-07-15
IPC 분류
C08J 5/18|C08L 79/08|B01J 2/30
대표도면
요약
본 발명은 초소수성 폴리이미드 필름 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 기설정된 크기에 따라 나노 패턴의 마스터 몰드(master mold)를 가공하는 제 1 단계(S100), 상기 제 1 단계(S100)에 의해 가공된 마스터 몰드 상에 원자층 증착법(ALD, Atomic Layer Deposition)을 통한 희생층을 증착하는 제 2 단계(S200), 상기 제 2 단계(S200)에 의해 증착된 희생층 상에 폴리머층을 코팅하는 제 3 단계(S300) 및 표면 세척을 통해 폴리머층 하부의 희생층 및 기판을 식각하는 제 4 단계(S400)로 이루어지는 것을 특징으로 하며, 대량 양산에 용이한 초소수성 폴리이미드 필름 제조 방법에 관한 것이다.
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