특허보유현황
계층적 구조를 갖는 반도체 검사용 프로브 및 그 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150172512
출원일
2015-12-04
등록번호
1017123670000
등록일
2017-02-27
IPC 분류
G01R 1/067|G01R 3/00|G01R 31/26
대표도면
요약
본 발명은 반도체 칩의 불량 여부를 검사하기 위한 프로브 카드용 프로브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브의 외면에 계층적 구조를 적용하여 방열 성능 및 절연 성능이 향상된 계층적 구조를 갖는 반도체 검사용 프로브 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
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