특허보유현황
레이저 트래커
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020150188879
출원일
2015-12-29
공개번호
1020170078401
공개일
2017-07-07
등록번호
1018903140000
등록일
2018-08-14
IPC 분류
G01S 7/481|G01S 17/50|G01J 3/45|G01J 3/42
대표도면
요약
본 발명은 볼 수용부를 구비하는 지지체와, 상기 수용부에 볼 조인트 형태로 수용되는 에어 베어링 볼과, 상기 에어 베어링 볼에 연결되며 상기 에어 베어링 볼을 회전 구동시키는 구동 유닛과, 상기 에어 베어링 볼에 설치되며 레이저 광원과 연결되어 타겟에 레이저를 조사하는 레이저 간섭계와, 상기 레이저 간섭계에 설치되며 상기 타겟의 이동에 따라 상기 타겟에서 반사된 레이저 빔의 변위를 감지하는 위치감지 디텍터와, 상기 위치감지 디텍터의 감지 결과를 근거로 상기 레이저 간섭계가 상기 타겟을 트래킹하도록 상기 구동 유닛을 제어하는 제어부를 포함하는 레이저 트래커를 개시한다.
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