특허보유현황
고분자 불순물이 없는 자유지지 나노박막 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160002395
출원일
2016-01-08
공개번호
1020170083220
공개일
2017-07-18
등록번호
1018273800000
등록일
2018-02-02
IPC 분류
C01B 31/04
대표도면
요약
본 발명은 제1관통홀이 형성된 폴리머 필름을 나노박막에 밀착시켜, 너비 방향으로 상기 제1관통홀이 나노박막의 내측 부분에 배치되도록 폴리머 필름에 나노박막을 부착시키는 단계(S10); 및 상기 나노박막이 부착된 폴리머 필름을 관통공이 형성된 타겟 기판에 밀착시키되 나노박막이 타겟기판에 밀착되도록 하며, 너비 방향으로 상기 관통공이 제1관통홀의 내측 부분에 배치되도록 하여, 상기 관통공이 형성된 타겟 기판에 나노박막이 자유지지되도록 전사하는 단계(S20); 를 포함하여 이루어져, 나노박막이 관통공에 의해 자유지지된 부분이 폴리머나 다른 물질들에 접촉되지 않도록 전사하여 제조될 수 있어, 자유지지된 나노박막의 표면에 고분자 불순물이 없도록 할 수 있는 고분자 불순물이 없는 자유지지 나노박막 제조 방법에 관한 것이다.
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