특허보유현황
무기물-금속 구조체가 형성된 기판 및 이의 제조방법
출원인
한국재료연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160005617
출원일
2016-01-15
공개번호
1020160037852
공개일
2016-04-06
등록번호
1021975460000
등록일
2020-12-24
IPC 분류
G01J 3/44|G01N 21/65|C23C 16/44|C23C 14/34|C23C 14/22
대표도면
요약
본 발명은 무기물-금속 구조체가 형성된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 서로 이격된 상부 돌출곡면을 갖는 돌기형 구조체가 형성된 기판; 상기 돌기형 구조체 상에 형성된 금속 함유 나노입자; 상기 기판 표면에 형성된 금속 함유 박막; 및 상기 금속 함유 나노입자와 상기 돌기형 구조체 사이 및 상기 금속 함유 박막과 상기 기판 표면 사이에 형성된 무기물 함유 박막;을 포함하되, 상기 금속 함유 나노입자와 상기 금속 함유 박막층은 상기 기판에 라만활성물질을 동시에 진공증착시켜 형성되며, 상기 라만활성물질은 초기에는 상기 금속박막 및 상기 돌기형 구조체에 균일하게 증착되나 증착이 진행됨에 따라 상기 돌기형 구조체의 상부에 집중적으로 증착되는 것을 특징으로 하는 무기물-금속 구조체가 형성된 기판에 관한 것으로, 나노갭을 용이하게 조절할 수 있고 무기물 함유 박막을 도입하여 접착력 및 열적 안정성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
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