특허보유현황
패턴 두께 계측을 통한 광소결 제어시스템
출원인
한국기계연구원|한양대학교 산학협력단
등록상태
등록
출원번호
1020160005763
출원일
2016-01-18
공개번호
1020170086217
공개일
2017-07-26
등록번호
1018793670000
등록일
2018-07-11
IPC 분류
B41J 2/455|B41J 29/393|B41J 29/38|B41F 23/04|B41F 33/14
대표도면
요약
광소결 제어시스템은 광소결 유닛, 측정부, 데이터 저장부 및 제어부를 포함한다. 상기 광소결 유닛은 패턴이 형성된 기판부 상에 광을 인가하여 상기 패턴을 소결한다. 상기 측정부는 상기 광소결에 따른 상기 패턴의 두께를 측정하는 측정한다. 상기 데이터 저장부는 상기 측정부에서 측정된 상기 패턴의 두께에 관한 정보를 저장한다. 상기 제어부는 상기 저장된 두께에 관한 정보를 바탕으로 상기 광소결 유닛에서 인가되는 광을 제어한다.
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