특허보유현황
비침투성과 초소수성을 갖는 폴리이미드 필름의 제조 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160017042
출원일
2016-02-15
등록번호
1016412070000
등록일
2016-07-14
IPC 분류
C08J 7/04|C08J 5/18|B29C 41/02
대표도면
요약
본 발명은 비침투성과 초소수성을 갖는 폴리이미드 필름 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판(100)에 기설정된 크기에 따라 나노 패턴의 마스터 몰드(Master Mold)를 가공하는 제 1 단계(S100), 상기 제 1 단계(S100)에 의해 가공된 마스터 몰드 상에 원자층 증착법(ALD, Atomic Layer Deposition)을 통한 희생층(200)을 증착하는 제 2 단계(S200), 상기 제 2 단계(S200)에 의해 증착된 희생층(200) 상에 폴리머층(300)을 코팅하는 제 3 단계(S300), 폴리머층(300) 하부의 희생층(200) 및 기판(100)을 식각하는 제 4 단계(S400) 및 상기 제 4 단계(S400)에 의해 희생층(200) 및 기판(100)이 식각된 폴리머층(300) 표면에 원자층 증착법을 통한 원자층(400)을 코팅하는 제 5 단계(S500)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 비침투성과 초소수성을 갖는 폴리이미드 필름 제조 방법에 관한 것이다.
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