특허보유현황
대상물 가공 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160018198
출원일
2016-02-17
공개번호
1020160029041
공개일
2016-03-14
등록번호
1016987170000
등록일
2017-01-16
IPC 분류
C23C 14/34|H10P 30/00|H10P 10/00|C23C 14/50|C23C 14/58|C23C 14/56
대표도면
요약
대상물 가공 장치는 진공 챔버와, 막을 형성하기 위한 대상물을 지지하는 지지부재와, 막을 형성하기 위한 물질을 포함하는 타겟 및 타겟과 대상물을 향해 이온빔을 각각 조사하며, 대상물에 막을 형성하기 위해 타겟의 물질이 대상물을 향하도록 타겟의 물질을 활성화하고, 막이 형성되기 전에 대상물을 전처리하거나 막이 형성된 후 대상물을 후처리하는 이온 빔 소스를 포함한다. 대상물 가공 장치는 막 형성 및 전처리 또는 후처리를 동시에 수행할 수 있으므로, 대상물 처리 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
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