특허보유현황
나노임프린트 방식을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160046280
출원일
2016-04-15
공개번호
1020170119022
공개일
2017-10-26
등록번호
1018278140000
등록일
2018-02-05
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/20|G03F 9/00
대표도면
요약
본 발명은 나노임프린트 방식으로 수 나노미터 내지 수십 나노미터 크기로 패터닝된 기능층을 다수 적층 시킴으로써, 고강도이고, 초경량이며, 고기능성인 3차원 구조체를 쉽고 용이하게 형성할 수 있는 나노임프린트 방식을 이용한 3차원 구조체의 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해 나노임프린트 방식을 이용한 3차원 구조체의 제조방법은 요철부가 가공된 스탬프를 준비하는 스탬프준비단계와, 요철부를 포함한 스탬프에 이형층을 형성하는 이형층형성단계와, 이형층형성단계를 거친 요철부에 기능층을 형성하기 위해 하나 이상의 재료를 수십 나노미터 내지 수백 나노미터의 크기로 형성하는 재료형성단계와, 기판 상에 요철부에 형성된 재료를 적층하는 재료적층단계 및 재료에 압력, 열과 압력, 빛과 압력 중 어느 하나를 가하여 재료를 하단의 재료에 접합시키는 기능층고정단계를 포함하고, 상술한 단계를 순차적으로 반복 실시하여 내부에 다수의 기공이 형성되는 3차원 구조체를 제조할 수 있다.
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