특허보유현황
파장 선택형 롤 장치 및 이를 포함하는 패턴 전사 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160052756
출원일
2016-04-29
등록번호
1017927960000
등록일
2017-10-26
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/20|G03F 9/00|H10W 20/00
대표도면
요약
본 발명은 파장 선택형 롤 장치 및 이를 포함하는 패턴 전사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게 롤 기반의 패턴 전사 공정 수행 시, 레지스트 경화용 광원의 파장을 손쉽게 변경할 수 있는 파장 선택형 롤 장치 및 이를 포함하는 패턴 전사 장치에 관한 것이다.
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