특허보유현황
고세장비 나노패턴 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160055480
출원일
2016-05-04
공개번호
1020170125245
공개일
2017-11-14
등록번호
1018559420000
등록일
2018-05-02
IPC 분류
H10P 50/28|H10D 62/10|H10P 76/40|H10P 50/00|H10W 20/00|H10P 50/20
대표도면
요약
고세장비 나노패턴 제조방법에서 몰드 패턴이 형성된 전사 기판 상에 에치 마스크를 증착한다. 상기 몰드 패턴에 대하여 측벽 식각을 수행한다. 상기 몰드 패턴의 상면에 금속을 증착한다. 타겟 기판 상에 전사용 접착층을 도포한다. 상기 몰드 패턴에 증착된 금속을 상기 전사용 접착층으로 전사한다.
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