특허보유현황
금속 박막 기판 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160059030
출원일
2016-05-13
공개번호
1020160135103
공개일
2016-11-24
등록번호
1017125970000
등록일
2017-02-27
IPC 분류
C23C 14/16|C23C 14/20|C23C 14/18|C23C 14/02|C23C 14/58|C23C 14/34|H10K 99/00|H10F 77/20|G02B 5/30|H10P 14/40
대표도면
요약
본 발명은 금속 박막 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 배향성을 가지는 기판; 및 상기 기판 상에 형성되는 금속박막;을 포함하되, 상기 금속 박막은 초기 성장 시에 상기 기판의 배향성에 상응하는 배향성을 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 금속 박막 기판에 관한 것으로, 본 발명에 의한 금속 박막 기판은 성장초기부터 2차원 연속 박막으로 성장되며 광투과율 및 전도성이 우수한 금속 박막을 제공하는 효과가 있다.
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