특허보유현황
미세 소자의 제조 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160059662
출원일
2016-05-16
등록번호
1018013120000
등록일
2017-11-20
IPC 분류
H10P 72/00|H10P 74/00|H10P 72/70|H10P 72/50|H10P 34/42|H10P 72/30
대표도면
요약
본 발명의 일 실시예에 따른 미세 소자의 제조 장치는 미세 소자가 형성되는 기판과 이격되어 상방에 위치하며, 금속 액적을 만드는 금속 액적 제조부, 상기 금속 액적 제조부와 이격되어 위치하며, 상기 금속 액적의 적하를 제어하는 금속 액적 적하 제어부, 그리고 상기 기판이 탑재되며 상기 금속 액적이 상기 기판에 적하되는 위치를 제어하는 스테이지 이동부를 포함한다.
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