특허보유현황
기판 결함 검사 장치 및 이를 이용한 검사 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160060990
출원일
2016-05-18
등록번호
1017518010000
등록일
2017-06-22
IPC 분류
G01N 21/88|G01N 21/01|G01N 21/95
대표도면
요약
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 안착되는 스테이지; 상기 스테이지에 X축방향으로 이동가능하게 결합되는 갠트리; 상기 기판의 상부에 위치하며, Y축방향으로 이동가능하도록 상기 갠트리에 결합되는 메인 이동블록; 상기 메인 이동블록에 X축방향으로 이동가능하게 결합되는 제1 보조 이동블록; 상기 기판의 상부에 위치하도록 상기 제1 보조 이동블록에 설치되며, 상기 기판의 결함을 측정하는 프로브; 및 상기 갠트리를 X축방향으로 지속적으로 이동시키면서 상기 갠트리에 대한 상기 보조 이동 블록의 상대 속도를 제어하는 제어부를 포함하는, 기판 결함 검사 장치를 제공한다.
전문보기
기술이전 상담신청