특허보유현황
미세패턴롤을 제조하는 방법 및 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160070437
출원일
2016-06-07
등록번호
1016920650000
등록일
2016-12-27
IPC 분류
H10P 10/00|H10P 76/00|H10P 14/46|H10P 14/40
대표도면
요약
본 발명은 미세패턴롤을 제조하는 방법 및 장치에 관한 것으로, 반도체 공정을 통해 표면에 미세패턴이 양각된 마스터 평판을 제작하는 단계와, 마스터 평판을 복제해 미세패턴이 음각된 클리쉐 시트를 제작하는 단계와, 클리쉐 시트를 롤 표면에 부착하는 단계를 포함하며, 반도체 공정을 통해 마스터 평판이 제작되므로, 미세 패턴 깊이 제어 및 형상 제어가 용이하고, 마이크로 단위의 미세 패턴 형성이 가능한, 미세패턴롤을 제조하는 방법 및 장치를 제공한다.
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