특허보유현황
롤투롤 패터닝 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160077894
출원일
2016-06-22
공개번호
1020180000123
공개일
2018-01-02
등록번호
1018217660000
등록일
2018-01-18
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/20|G03F 9/00|H10P 76/00|H10P 10/00
대표도면
요약
본 발명은 롤투롤 패터닝 시스템에 관한 것으로, 유연성 플라스틱 기판에 금속 전도성 물질을 도포하는 도포장치와, 기판과 수평하도록 도포장치 후단에 위치된 마스크와, 마스크를 통해 금속 전도성 물질에 광이 조사되도록 마스크를 향해 광을 생성하는 광생성장치와, 기판 후단에 위치되고 기판에 도포된 금속 전도성 물질을 닦아내는 세척장치를 포함하며, 마스크를 통해 기판에 코팅된 금속 미립자에 특정 형상의 광을 조사해 금속 미립자를 특정 형상으로 기판에 자가 나노 결합(SELF-NANOEMBEDDING)시키고, 마스크에 의해 광이 차단되 기판에 접착되지 않은 영역의 금속 미립자를 제거함으로써, 대면적의 금속 전도성 패턴을 고속으로 제작할 수 있는 효과가 있는, 롤투롤 패터닝 시스템을 제공한다.
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