특허보유현황
탄소막이 코팅된 반도체 검사 장치용 프로브 핀 및 그 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160078829
출원일
2016-06-23
공개번호
1020180000598
공개일
2018-01-03
등록번호
1018250950000
등록일
2018-01-29
IPC 분류
G01R 1/067|G01R 3/00|G01R 31/26
대표도면
요약
본 발명은 높은 내마모성을 가지면서도 반도체 소자의 물질과 이형성을 증가시켜 사용 수명을 증대할 수 있는 반도체 검사 장치용 프로브 핀으로서 반도체 소자의 단자와 접촉할 수 있는 표면부에 질소가 함유된 비정질 탄소막이 코팅된 반도체 검사 장치용 프로브 핀을 제공한다.
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