특허보유현황
유연기판 상에 ALD 공정으로 패턴을 형성하는 방법 및 이를 수행하기 위한 패턴 형성장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160079904
출원일
2016-06-27
공개번호
1020180001146
공개일
2018-01-04
등록번호
1019071290000
등록일
2018-10-04
IPC 분류
H10P 10/00|H10P 14/40|H10K 99/00|H10P 50/26
대표도면
요약
유연기판 상에 ALD 공정으로 패턴을 형성하는 방법 및 이를 수행하기 위한 패턴 형성 장치에서, 상기 패턴 형성방법은 유연기판 상에 마스크 패턴을 형성한다. 상기 마스크 패턴의 측부에 보호필름을 부착한다. 상기 마스크 패턴 및 상기 보호필름이 형성된 유연기판 상에 원자층을 형성한다. 상기 보호필름을 제거한다. 상기 마스크 패턴을 식각하여 제거한다.
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