특허보유현황
나노박막 전사 방법 및 장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160091081
출원일
2016-07-19
공개번호
1020180009450
공개일
2018-01-29
등록번호
1018673770000
등록일
2018-06-07
IPC 분류
B32B 37/00|B32B 37/02|B32B 38/10|B32B 37/24|B32B 38/00|B32B 37/12
대표도면
요약
본 발명은 촉매 금속 상에 형성된 나노박막을 대상이 되는 타겟 기판에 전사하되, 나노박막을 전사하기 위해 나노박막 상에 폴리실록산계 물질이 도포 또는 코팅되어 밀착된 희생층을 점착 테잎을 이용해 물리적으로 쉽게 제거할 수 있으며, 이에 따라 전사된 나노박막의 표면에 불순물을 최소화 할 수 있는 나노박막 전사 방법에 관한 것이다.
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