특허보유현황
플라즈마 에칭을 이용한 반사방지 표면의 제조방법 및 반사방지 표면이 형성된 기판
출원인
주식회사 쎄코|한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160106210
출원일
2016-08-22
공개번호
1020170023396
공개일
2017-03-03
등록번호
1019544100000
등록일
2019-02-26
IPC 분류
H10P 50/20|H10F 77/30|H10W 74/01
대표도면
요약
본 발명은 플라즈마 건식 에칭과 무기물 증착의 반복적인 제어를 통해 형성되는 반사방지 구조층을 다양한 구조로 제어함으로써 내구성 향상과 우수한 광 투과성 및 반사방지 효과를 확보할 수 있고, 이지 클린, 내오염성, 내스크래치성 등과 같은 기능성을 부여할 수 있는 반사방지 표면의 제조 방법 및 반사방지 표면이 형성된 기판에 관한 것이다.
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