특허보유현황
구리 박막 기판 및 이의 제조방법
출원인
한국재료연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160110233
출원일
2016-08-29
공개번호
1020180025359
공개일
2018-03-09
등록번호
1026802830000
등록일
2024-06-26
IPC 분류
C23C 14/20|C23C 14/18|H05K 1/09|H05K 3/02|H01B 1/02
대표도면
요약
본 발명은 구리 박막 기판 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 상세하게는 기판; 및 상기 기판 상에 형성되며 구리(Cu) 또는 구리합금으로 구성되는 구리 박막;을 포함하되, 상기 구리 박막의 (111)면의 전체 결정면에 대한 비율은 상기 구리 박막의 두께가 증가함에 따라 감소하며 상기 구리 박막의 I(111)/I(200)이 17을 초과하는 구리 박막 기판에 관한 것으로, 본 발명에 의한 구리 박막 기판은 성장초기부터 2차원 연속 박막으로 성장되며 광투과율 및 전도성이 우수한 구리 박막을 제공하는 효과가 있다.
전문보기
기술이전 상담신청