특허보유현황
대면적 초음파 세정장치
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160121627
출원일
2016-09-22
등록번호
1018272960000
등록일
2018-02-02
IPC 분류
H10P 14/40|B08B 7/02|B08B 11/04|H10P 10/00|H10P 72/00
대표도면
요약
본 발명은 대면적 초음파 세정장치에 관한 것으로서, 진동소자가 결합된 진동부를 세정액을 이용해 냉각시킬 수 있도록 하고 열교환된 세정액은 기판으로 분사되도록 하여 세정액이 열교환 및 초음파 전달체의 역할을 할 수 있도록 함으로써, 진동소자에서 발생되는 열을 효과적으로 방열하여 진동소자가 냉각될 수 있어 진동소자에서 발생되는 초음파를 안정시켜 세정 효과를 향상시킬 수 있는 대면적 초음파 세정장치에 관한 것이다.
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