특허보유현황
슬롯다이 시스템 및 이를 이용한 슬롯다이 제어방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160128056
출원일
2016-10-05
공개번호
1020180037653
공개일
2018-04-13
등록번호
1018775150000
등록일
2018-07-05
IPC 분류
B05C 5/02|B05B 15/50|B05D 1/26|G01L 1/00
대표도면
요약
슬롯다이 시스템 및 이를 이용한 슬롯다이 제어방법에서, 상기 슬롯다이 시스템은 외부케이스 및 슬롯다이 코팅장비를 포함한다. 상기 외부케이스는 일 측면에는 글러브(glove)가 형성되고, 다른 측면에는 도어부가 형성된다. 상기 슬롯다이 코팅장비는 상기 외부케이스의 내부에 수납되며, 슬롯다이, 실린지, 연결유닛 및 이송 제어부를 포함한다. 상기 슬롯다이는 노즐을 통해 유체를 토출하여 기판에 코팅을 수행한다. 상기 실린지는 펌프유닛을 포함하여 상기 슬롯다이로 유체를 펌핑(pumping)하여 공급한다. 상기 연결유닛은 상기 실린지와 상기 슬롯다이 사이에서 상기 유체가 이송된다. 상기 이송 제어부는 상기 펌핑에 따른 응답지연을 고려하여 상기 기판의 이송 속도를 제어한다.
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