특허보유현황
다층형 캐리어 필름 및 이를 이용한 소자 전사 방법과 이 방법을 이용하여 전자제품을 제조하는 전자제품 제조방법
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020160132250
출원일
2016-10-12
공개번호
1020180040770
공개일
2018-04-23
등록번호
1018669010000
등록일
2018-06-05
IPC 분류
B32B 27/08|B32B 25/08|B32B 15/082|B32B 15/06|B32B 9/00|B32B 9/04|H10W 40/00
대표도면
요약
본 발명은 반도체, 디스플레이, 태양전지, 센서 등에 장착되는 소자를 소스기판에서 타겟기판으로 전사하기 위한 다층형 캐리어 필름 및 이를 이용한 소자 전사 방법과 이 방법을 이용하여 전자제품을 제조하는 전자제품 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다층형 캐리어 필름은 베이스 필름과, 변형층과, 경질층을 포함하고, 이를 이용한 소자 전사 방법은 피킹 단계와, 경화 단계와, 플레이싱 단계를 포함한다. 본 발명에 따른 다층형 캐리어 필름 및 이를 이용한 소자 전사 방법은 소스기판에 있는 소자를 다층형 캐리어 필름에 1차적으로 점착시키고, 다층형 캐리어 필름에 구성된 변형층의 경도 변화를 통해 다층형 캐리어 필름과 소자 사이의 점착력을 조절하여 다층형 캐리어 필름에 점착된 소자를 타겟기판에 2차적으로 점착시키는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 다층형 캐리어 필름을 이용한 소자 전사 방법을 이용하여 전자제품을 제조하는 전자제품 제조방법은 다층형 캐리어 필름을 이용한 소자 전사 방법을 이용하여 다수의 소자를 평판 상에 전사하여 전자제품을 제조하는 것을 특징으로 한다.
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