특허보유현황
롤 스탬프의 접촉변위 제어장치
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020160132260
출원일
2016-10-12
등록번호
1018131450000
등록일
2017-12-21
IPC 분류
B41F 33/00|B41F 16/00
대표도면
요약
본 발명은 기판에서 소자를 전사받거나 또는 기판에 소자를 전사하는 과정에서 롤 스탬프와 기판 사이의 간격을 균일하게 유지시키는 롤 스탬프의 접촉변위 제어장치에 관한 것으로서, 롤 스탬프와, 높이조절부와, 센서부와, 제어부를 포함한다. 롤 스탬프는 기판의 전사면 상에 배치되어 기판의 이송속도와 대응되는 속도로 회전한다. 높이조절부는 롤 스탬프에 장착되어 롤 스탬프의 높이를 조절한다. 센서부는 기판이 접근하는 롤 스탬프의 전방에 배치되고, 기판의 전사면에 존재하는 하부 전사점까지의 표면거리와, 롤 스탬프가 회전되면서 하부 전사점과 만나는 롤 스탬프의 상부 전사점까지의 측부거리를 각각 측정한다. 제어부는 측부거리를 이용하여 롤 스탬프의 축 중심으로부터 상부 전사점까지의 반경거리을 산출하고, 하부 전사점과 상부 전사점이 서로 만나는 시점에 표면거리와 반경거리의 차이인 접촉변위만큼 롤 스탬프의 높이가 조절되도록 높이조절부를 제어한다.
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