특허보유현황
소자 전사방법 및 소자 전사방법을 이용한 전자제품 제조방법
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020160135330
출원일
2016-10-18
공개번호
1020180042893
공개일
2018-04-27
등록번호
1018971290000
등록일
2018-09-04
IPC 분류
H10W 20/00|H10W 40/00|H10P 14/40
대표도면
요약
본 발명은 소자가 캐리어 필름 및 기판에 압입되는 압입깊이의 제어를 통해 점착력을 조절하여 소자를 캐리어 필름 또는 기판으로 이동시킴으로써 소자를 기판으로 전사시키는 캐리어 필름, 이를 이용한 소자(device) 전사방법 및 소자 전사방법을 이용한 전자제품 제조방법에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 베이스 필름 및 제 1 점착층을 포함한다. 제 1 점착층은 상기 베이스 필름의 일면에 형성되고, 전사하고자 하는 소자가 부착된다. 또한, 가압단계, 제 1 점착력 형성단계, 제 2 점착력 형성단계 및 이형단계를 포함한다. 가압단계는 베이스 필름 및 상기 베이스 필름의 일면에 제 1 점착층이 형성된 캐리어 필름과, 기저면 및 상기 기저면의 일면에 형성된 제 2 점착층을 포함하는 기판을 가압하되, 전사하고자 하는 소자가 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층에 부착되어 있다. 제 1 점착력 형성단계는 상기 가압단계에 의하여 상기 소자가 상기 제 1 점착층에 압입되면서 상기 소자와 상기 제 1 점착층 간의 제 1 점착력이 형성된다. 제 2 점착력 형성단계는 상기 가압단계에 의하여 상기 소자가 상기 제 2 점착층에 압입되면서 상기 소자와 상기 제 2 점착층 간의 제 2 점착력이 형성된다. 이형단계는 상기 캐리어 필름을 상기 기판으로부터 이형시킨다.
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