특허보유현황
초음파 세정 장치 및 이를 포함하는 세정 시스템
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160139024
출원일
2016-10-25
공개번호
1020180045184
공개일
2018-05-04
등록번호
1018793050000
등록일
2018-07-11
IPC 분류
B08B 7/02|B08B 7/04|H10P 10/00|H10P 52/00
대표도면
요약
본 발명은 다양한 액체와 기체를 혼합하여 세정액을 생성할 수 있고, 생성된 세정액을 다공성나노구조체를 이용하여 피세정물에 균일하게 분사해 줌으로서, 세정력을 극대화 시키고, 피세정물의 표면 패턴 파괴를 방지할 수 있는, 초음파 세정 장치에 관한 것이다.
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