특허보유현황
임프린트 리소그래피 장치 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160143304
출원일
2016-10-31
등록번호
1018538710000
등록일
2018-04-25
IPC 분류
G03F 7/00|G03F 7/16|H10P 76/00
대표도면
요약
본 발명은 기판에 소정의 패턴을 형성하기 위한 임프린트 리소그래피 장치 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법에 관한 것이다. 본 발명의 임프린트 리소그래피 장치는 기판지지부와, 스탬프흡착부와, 공기발생부와, 공압제어부를 포함하고, 본 발명의 임프린트 리소그래피 방법은 스탬프 정렬단계와, 스탬프 부착단계를 포함한다. 본 발명은 스탬프를 스탬프흡착부에 흡착한 상태에서, 스탬프를 흡착하는 다수의 통기홀 중 기판에 부착하려는 스탬프의 부착구간에 대응하는 일부의 통기홀에 양압을 인가하고, 스탬프흡착부에 흡착된 스탬프의 흡착구간에 대응하는 다른 일부의 통기홀은 음압이 인가된 상태를 유지하며, 부착구간과 흡착구간 사이에 존재하는 나머지 일부의 통기홀에는 양압 및 음압이 모두 차단되는 것을 특징으로 한다.
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