특허보유현황
미세패턴 또는 미세채널 형성을 위한 직접 열가압 임프린트 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160155871
출원일
2016-11-22
공개번호
1020180057352
공개일
2018-05-30
등록번호
1019216390000
등록일
2018-11-19
IPC 분류
H10P 76/00|G03F 7/00|H10P 72/70|H10P 50/00|H10P 50/20|H10P 95/90
대표도면
요약
미세패턴 또는 미세채널 형성을 위한 직접 열가압 임프린트 방법에서, 템플릿과 기판의 표면을 세정한다. 상기 템플릿을 척에 고정하여 상기 기판과 함께 챔버의 내부공간으로 위치시킨다. 상기 템플릿을 기판에 접촉시킨다. 상기 템플릿을 상기 척으로부터 분리한다. 상기 기판에 접촉한 상기 템플릿의 상면을 가압한다. 고온 고압으로 상기 기판과 상기 템플릿의 접합력을 향상시킨다.
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