특허보유현황
플라즈모닉 다중 나노구조체를 포함하는 기판 및 이의 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160161935
출원일
2016-11-30
등록번호
1018449790000
등록일
2018-03-28
IPC 분류
G01N 21/552|C23C 14/20|C23C 14/24|C23C 14/34|C23C 16/06|C23C 16/455
대표도면
요약
본 발명은 폴리머 기판; 및 상기 기판 상에 형성되고, 2 이상의 높이 분포를 가지는 다중 나노구조체를 포함하며, 상기 다중 나노구조체는 상기 기판 표면에 서로 이격되어 형성되며, 2 이상의 높이 분포를 가지는 복수의 나노돌기; 및 상기 나노돌기 표면상에 형성된 금속 함유 나노입자를 포함하여, 높이 분포가 다른 기판상 인접한 다중 나노구조체 간에 복수의 나노갭이 형성되는, 플라즈모닉 다중 나노구조체를 포함하는 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
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