특허보유현황
플라즈모닉 메타표면 제작방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160165806
출원일
2016-12-07
공개번호
1020180066308
공개일
2018-06-19
등록번호
1018800780000
등록일
2018-07-13
IPC 분류
G02B 5/00|C23F 1/12|C23F 1/02|C09K 13/00
대표도면
요약
본 발명은 대면적 제작 및 롤 스탬프를 이용한 연속 공정이 가능하며, 식각공정을 거치지 않고 메타표면을 구현할 수 있는 전사공정을 이용한 플라즈모닉 메타표면 제작방법에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 형성하고자 하는 기능층의 패턴에 대응되도록 일면에 나노구조체가 가공된 스탬프를 준비하는 스탬프 준비단계; 그리고 상기 일면에 액상물질의 도포 또는 이방성 진공증착을 통해 상기 기능층을 형성하는 기능층 형성단계;를 포함하며, 상기 기능층이 증착된 상기 스탬프는 플라즈모닉 메타표면으로 구현되는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 메타표면 제작방법을 제공한다.
전문보기
기술이전 상담신청