특허보유현황
탭핑 패터닝 장치 및 이를 이용한 탭핑 패터닝 방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020160175633
출원일
2016-12-21
공개번호
1020180072907
공개일
2018-07-02
등록번호
1018735080000
등록일
2018-06-26
IPC 분류
G03F 7/00|H10P 76/00|H10P 74/00|G03F 7/20|G03F 9/00
대표도면
요약
본 발명은 기판에 회로 패턴을 형성하기 위한 탭핑 패터닝 장치 및 이를 이용한 탭핑 패터닝 방법에 관한 것이다. 본 발명의 탭핑 패터닝 장치는 탐침부와, 센서부와, 승강구동부를 포함하고, 전압발생부를 더 포함할 수 있으며, 본 발명의 탭핑 패터닝 방법은 탐침부 배치단계와, 센싱단계와, 탐침부 접촉단계와, 경화단계를 포함하고, 탐침부 접근단계와, 전기장 형성단계를 더 포함할 수 있다. 본 발명의 탭핑 패터닝 장치 및 이를 이용한 탭핑 패터닝 방법은 팁면이 접촉된 레지스트층의 패터닝 지점에는 단위패턴과 반대되는 형상의 복제패턴이 형성되거나, 팁면과 마주보는 레지스트층의 패터닝 지점이 전기장의 영향을 받아 유동되면서 단위패턴과 대칭되는 형상의 복제패턴을 형성할 수 있다.
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