특허보유현황
불량소자의 리페어 방법 및 이를 위한 리페어 장치
출원인
한국기계연구원|재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록상태
등록
출원번호
1020170011817
출원일
2017-01-25
공개번호
1020180087896
공개일
2018-08-03
등록번호
1019181060000
등록일
2018-11-07
IPC 분류
H05K 13/04|H05K 3/34|H10W 40/00|B23K 1/005|B23K 1/06
대표도면
요약
본 발명은 기판에 존재하는 불량소자만 선택적으로 교체할 수 있는 불량소자의 리페어 방법 및 이를 위한 리페어 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 불량소자의 리페어 방법은 가압단계와, 불량소자 제거단계와, 대체소자 접합단계를 포함하고, 본 발명에 따른 불량소자의 리페어 장치는 제1점착필름과, 가압부와, 제2점착필름을 포함한다. 본 발명에 따른 불량소자의 리페어 방법 및 이를 위한 리페어 장치는 불량소자를 제1점착필름에 점착시켜 떼어내고, 제2점착필름에 부착된 대체소자를 불량소자가 제거된 제거위치에 부착하여 접합시키는 것을 특징으로 한다.
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