특허보유현황
금속아세테이트를 함유하는 광경화성 금속산화물 전구체 조성물 및 이를 이용한 3차원 나노구조체 제조방법
출원인
한국기계연구원
등록상태
등록
출원번호
1020170031927
출원일
2017-03-14
공개번호
1020180104957
공개일
2018-09-27
등록번호
1019300740000
등록일
2018-12-11
IPC 분류
G03F 7/004|G03F 7/00
대표도면
요약
본 발명은 금속아세테이트계 화합물을 함유하는 광경화성 금속산화물 전구체 조성물과, 상기 광경화성 금속산화물 전구체 조성물을 이용하여 3차원의 나노구조체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 금속 이온을 함유하는 아세테이트계 기반의 금속산화물 전구체 조성물을 제공하여 광경화성 레지스트를 합성하고, 이를 액상 전이 임프린트 리소그래피(Liquid Transfer Imprint Lithography) 공정에 적용하여 3차원의 나노구조체를 형성하는 방법에 관한 것이다.
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